JAJSPS5C October 2014 – February 2023 TDC1000
PRODUCTION DATA
表 9-2 の最小質量流量要件と精度要件に基づき、必要な ΔTOF 精度は次のように計算できます。
この結果から、低い流量の状態を測定できる高精度のタイマ / ストップウォッチがシステムに必要です。